2019/12/28
FGL系列管式梯度炉
管式梯度炉分为双温区FGL系列和多温区FGL(TD)系列,双温区梯度炉设计用于在同一腔体内实现不同的温度差的CVD工艺,多温区管式梯度炉设计用于样品在不同温度区域的烧结,用户就能研究烧制温度对制品的影响,多温区管式梯度炉采用无纸记录仪在线记录各温区工作参数。
特点
1、智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序
2、多温区组合式控制,温度梯度大,工艺符合性强
3、炉壳结构,双层炉壳风冷结构
4、温度过高保护功能,当温度超过允许设定值自动断电
5、LED高强度抗破坏全不锈钢按钮,经久耐用
额外选件: 炉内测量系统(氧含量测量系统、温度测量系统)
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组)
气氛系统(浮子流量计、质量流量计)
监控系统(温度记录仪、触摸屏远程监控)
技术参数
|
设备型号 |
设计温度 |
使用温度 |
管径 |
温区长度 |
热偶 |
电压 |
功率 |
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FGL-60/17/2 |
1700℃ |
高温区1000-1600℃ 低温区 RT-1200℃ |
60mm |
200/200mm |
B/S |
220V |
7.0KW |
|
FGL-80/17/2 |
1700℃ |
80mm |
200/200mm |
B/S |
220V |
7.0KW |
|
|
FGL-60/14/2 |
1400℃ |
高温区RT-1300℃ 低温区RT-1000℃ |
60mm |
200/200mm |
S/K |
220V |
6.0KW |
|
FGL-80/14/2 |
1400℃ |
80mm |
200/200mm |
S/K |
220V |
6.0KW |
|
|
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|||||||
|
FGL(TD)-60/17 |
1700℃ |
RT-1600℃ |
60mm |
加热区200mm |
B/S/K |
220V |
2.5KW |
|
FGL(TD)-80/17 |
1700℃ |
RT-1600℃ |
80mm |
加热区200mm |
B/S/K |
220V |
2.5KW |
注:给出的设计温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。
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